低介電常數聚有機硅涂料
聚有機硅電介質涂敷材料是通過將特定的聚碳硅烷接受加熱或高能量處理產生具有低k介電性質的交聯聚有機硅涂料來制備的。加熱過程包括多階段依次提高溫度的加熱步驟。所制備的聚有機硅聚合物能夠用作電介質互連材料和膜涂層，用于半導體器件中導電布線。這些聚有機硅膜涂層還具有相對熱穩定性和對基片表面的優異粘合性的附加特性。
聚有機硅電介質涂敷材料是通過將特定的聚碳硅烷接受加熱或高能量處理產生具有低k介電性質的交聯聚有機硅涂料來制備的。加熱過程包括多階段依次提高溫度的加熱步驟。所制備的聚有機硅聚合物能夠用作電介質互連材料和膜涂層，用于半導體器件中導電布線。這些聚有機硅膜涂層還具有相對熱穩定性和對基片表面的優異粘合性的附加特性。
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